SecsGem通訊軟件
SECS是Semiconductor Equipment Communication Standard的簡稱，GEM 是Generic Equipment Model的簡稱。SecsGem協(xié)議被認為是從工具到主機通信的最佳方案通訊，因此在六寸以上的晶圓制造工廠它是常見的通訊標準。
為了分析和統(tǒng)計設備的生產(chǎn)有效性，派生出了SEMI標準E10，該標準定義了六個設備狀態(tài)：生產(chǎn)、待機、工程、計劃停機、非計劃停機和無計劃。這樣一個單一的軟件工具將使用現(xiàn)有的固定資產(chǎn)設備增加生產(chǎn)力。
無錫華意興航電子科技有限公司應客戶的要求，開發(fā)出了HOST和Equipment SecsGem兩種通訊軟件。
HOST SecsGem軟件能完成主要的通訊功能：
1.建立通訊（Establish Communications Request）：S1F1、S1F13
2.狀態(tài)變量查詢（Variable query）：S1F3
3.設備菜單查詢（Current PPID Request）：S7F19
4.下載菜單（PPSelect）、遠程控制（START/STOP/RESET）：S2F41
Equipment軟件的功能由兩部分組成：
第一部分是負責采集Omron PLC控制系統(tǒng)的狀態(tài)數(shù)據(jù)、收集報警和事件信息、下載菜單參數(shù)和發(fā)送控制命令等?；赑C-Base的程序與Omron PLC通過C-Mode 協(xié)議（Command）由RS232進行通訊。
第二部分是負責與HOST建立通訊、回答HOST的查詢與請求、執(zhí)行HOST的遠程控制命令和向HOST上報機臺的報警與事件。Equipment與HOST是通過TCP/IP協(xié)議執(zhí)行SecsGem標準進行通訊的。
