項目概況及要求
這是一個兩軸半導(dǎo)體晶片輸送機械手的應(yīng)用實例，用于配合應(yīng)用德國工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體測量工具。該機械手的作用是進行晶片輸送和對準(zhǔn)操作，隨后將晶片送入真空測量室測量。
內(nèi)部輸送裝置
內(nèi)部輸送裝置是一個自動機械手，可將晶片從晶片庫送入測量室。這個運動對時間有極為嚴(yán)格的要求，它直接影響晶片輸送速度，必須非常準(zhǔn)確。
預(yù)對準(zhǔn)裝置
預(yù)對準(zhǔn)裝置是測量工具的一個主要部件，用于確定晶片切口方位以及晶片中心與預(yù)對準(zhǔn)操作頭（pre-aligner）回轉(zhuǎn)軸之間的偏心值。
控制中最大的挑戰(zhàn)，來自內(nèi)部輸送裝置，以及必須移動大小尺寸不同的晶片。
如何輕松應(yīng)對挑戰(zhàn)？
增強控制算法
快速開發(fā)與適應(yīng)能力（可在4周內(nèi)完成 I/O 板設(shè)計，并提供原型）
與以前的解決方案相比，可降低成本高達60%
小型封裝，外觀整潔，布線少，驅(qū)動器可靠近電機安裝。
以下內(nèi)部輸送裝置軸波特圖說明了在控制技術(shù)方面面臨的挑戰(zhàn)，以及所采用的解決方案。
該裝置在 27Hz 處有一個很深的反共振陷波，以及兩個分別位于 140Hz 和 190Hz 的共振組。為處理該共振，采用了共振補償濾波器，并形成以下響應(yīng)特性。
使用該共振補償數(shù)字式濾波器，可實現(xiàn)效益更高、性能更佳、且更為穩(wěn)定的系統(tǒng)（12Hz 位置回路）。
解決方案
該解決方案采用了源自丹納赫傳動的標(biāo)準(zhǔn)和定制產(chǎn)品。配有標(biāo)準(zhǔn)電機和 Pico 驅(qū)動器的直接驅(qū)動系統(tǒng)取代了Harmonic Drive 減速機和技術(shù)過時的伺服系統(tǒng)。
采用標(biāo)準(zhǔn)的 Servostar PD PicoDrive，取消了風(fēng)扇，以避免所有機械干擾（機械精度為1納米）。
ITU 電機：BDL4-SMB，配有零齒槽效應(yīng)制動器，并針對24伏直流母線對繞組進行了優(yōu)化處理。
PAL 電機：AKM21電機，配有5000LPR編碼器。
定制 I/O板，專為所有機器 I/O 要求而設(shè)計。該 I/O 板安裝在 PicoDrive 外殼中。
