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  • 貝加萊2003控制系統(tǒng)在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中的“氣柜”控制中的應(yīng)用
    B&R—貝加萊工業(yè)自動(dòng)化(上海)有限公司

    在今天,當(dāng)您使用手機(jī),平板顯示器,MP3播放器或其他電子設(shè)備時(shí),有誰(shuí)會(huì)考慮這些東西從何而來(lái),要通過(guò)多么復(fù)雜的生產(chǎn)過(guò)程才能夠?yàn)槿祟悇?chuàng)造出如此先進(jìn)的高科技電子產(chǎn)品。韓國(guó)就是最早涉及生產(chǎn)此類產(chǎn)品的國(guó)家之一。

    2005年,韓國(guó)國(guó)內(nèi)生產(chǎn)總值大約為7875億美元,在全球排名第11位,總?cè)丝跒?000萬(wàn)。近幾年,像Samsung,Hyundai,Kia,LG或者Daewoo等韓國(guó)品牌已經(jīng)深印在全球消費(fèi)者的腦海中。遠(yuǎn)東地區(qū)以造船,汽車,鋼鐵,電子和半導(dǎo)體工業(yè)之間的競(jìng)爭(zhēng)為主要特征。世界市場(chǎng)的領(lǐng)先者紛至沓來(lái)競(jìng)相蠶食這塊大蛋糕。韓國(guó)電子和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)以約占35%的總投資額在經(jīng)濟(jì)活動(dòng)中占統(tǒng)治地位。很多制造商和供應(yīng)商成功的商業(yè)故事再次證明這一趨勢(shì)會(huì)在今后的幾年中延續(xù)。位于首爾附近的Welltech Indus就是其中之一。

    Welltech Indus 氣柜
    Welltech Indus供應(yīng)的產(chǎn)品范圍主要是半導(dǎo)體工業(yè)中處理過(guò)程氣體的設(shè)備,其中銷售量最好的是“氣柜”。它用于為各種半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程提供各種重要?dú)怏w。通常每個(gè)生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)都有配備多達(dá)幾百個(gè)氣柜的完整網(wǎng)絡(luò)。它們通過(guò)主PC機(jī)控制和監(jiān)視。同時(shí),安全和污染防止工作不可小視。半導(dǎo)體產(chǎn)品技術(shù)革新速度之快以及其小型化的發(fā)展趨勢(shì)提高了生產(chǎn)中對(duì)氣體純度的要求。因此,只有純度最高的氣體才適合生產(chǎn)環(huán)境。

    風(fēng)險(xiǎn)最小化
    氣瓶和氣罐的壓力是時(shí)刻在變化的,要保持生產(chǎn)過(guò)程中嚴(yán)格要求的高壓比,就必須使用先進(jìn)的自動(dòng)化系統(tǒng)對(duì)大約50種不同氣體進(jìn)行精確的壓力調(diào)節(jié)。一些氣體具有刺激性、腐蝕性和易燃性等特征,這增加了壓力控制的難度,因此必須使用最高級(jí)別的安全措施來(lái)減小風(fēng)險(xiǎn)。另外,必須保證持續(xù)的氣體供給從而避免停機(jī)和影響產(chǎn)品質(zhì)量。氣柜提供了多種選擇:一個(gè)氣瓶/一個(gè)過(guò)程,兩個(gè)氣瓶/一個(gè)過(guò)程以及兩個(gè)氣瓶/兩個(gè)過(guò)程。但是只有最后的一種選項(xiàng)可以保證氣體的持續(xù)供應(yīng)。如果一個(gè)氣瓶空了后系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)轉(zhuǎn)換到第二個(gè)瓶。與此同時(shí)可以更換或給空瓶子充氣。

    尖端的控制技術(shù)來(lái)自貝加萊(B&R)
    之所以選擇貝加萊2003控制系統(tǒng)(可作為核心控制器或者I/O)和Power Panel面板,是因?yàn)閃elltech Indus深信經(jīng)驗(yàn)豐富的貝加萊公司提供的自動(dòng)化系統(tǒng)及解決方案能夠滿足其對(duì)性能和可靠性方面的要求。最重要的是,他們堅(jiān)信從現(xiàn)在開(kāi)始可以使用一個(gè)軟件工具Automation Studio處理有關(guān)約50種不同氣體的所有操作選項(xiàng)。各種數(shù)據(jù)都可以被存儲(chǔ)在緩存和CF卡中,許多優(yōu)點(diǎn)都得以體現(xiàn)。之前由于不同制造商的產(chǎn)品之間的通信產(chǎn)生的故障不僅可以避免,甚至連維護(hù)和修復(fù)工作都可以得到極大的簡(jiǎn)化。

    氣柜中間經(jīng)CAN總線或者以太網(wǎng)TCP/IP形成一個(gè)靈活和可靠的網(wǎng)絡(luò)。以太網(wǎng)TCP/IP可以通過(guò)使用光纖電纜覆蓋更大的距離。簡(jiǎn)單的I/O處理,緊湊型的控制器以及世界頂尖的技術(shù)支持使貝加萊的解決方案最具競(jìng)爭(zhēng)力。

    在氣柜控制項(xiàng)目中,Welltech Indus和貝加萊從此建立了穩(wěn)定的合作關(guān)系,此次合作也為貝加萊在半導(dǎo)體行業(yè)的業(yè)務(wù)拓展奠定了良好的基礎(chǔ)。攜手貝加萊,今后會(huì)有越來(lái)越多的韓國(guó)高壓氣柜將以高品質(zhì),高性能,創(chuàng)新性的優(yōu)勢(shì)得到市場(chǎng)的肯定和贊譽(yù)。


    Jaehoon Kim
    Welltech Indus銷售經(jīng)理:
    “Automation Studio讓我們工作變得更加有條理,智能化地集成了控制器,I/O,通信和顯示任務(wù),簡(jiǎn)化了維護(hù)步驟從而提高了軟件的開(kāi)發(fā)速度。貝加萊提供的全球?qū)I(yè)的技術(shù)支持隊(duì)伍實(shí)踐了其“全球自動(dòng)化合作伙伴”這一承諾”。

     
     
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